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爱德华真空泵油-苏州方欧真空科技(图)

2025/10/13 11:17:50发布32次查看
对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,爱德华真空泵油,但不能彻l底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。
爱发科真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医l药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有l机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
真空泵油的主要性能
真空泵油, *限总压强和的*限分压力
*限的总压力:皮拉尼真空计和热电偶真空计测量所有材料真空泵(气)总压强。目前,测试强调总压强指数。
*限的分压力:水星压缩真空计(麦克劳德压力计)限制空气测量泵压力,双旋转叶片泵压力应小于6 * 10-5kpa。总压强之间的区别和*限压力不超过一个数量级。两者之间的差异越大,真空泵油含有更多的挥发性成分,油的性质就越低。
苏州方欧真空科技有限公司主营产品有:
销售进口真空泵油:莱宝真空泵油、爱德华真空泵油、松村真空泵油、爱发科真空泵油、里其乐真空泵油、贝克真空泵油、普旭真空泵油;
销售进口真空泵配件耗材:油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片)、视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格)风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及、真空泵密封套件、真空泵维修包及贝克真空泵碳片等;
真空系统/机组系列:cnc加工*真空系统,镀膜机械真空机组,吸塑真空系统,小型移动真空系统等
真空泵维修*系列:leybold莱宝真空泵维修、edwa*爱德华真空泵维修、alcatel阿尔卡特真空泵维修、busch普旭真空泵维修、becker贝克真空泵维修、rietschle伟力/里其乐真空泵、ulvac爱发科真空泵、日本orion好利旺真空泵维修、pfeiffer普发真空泵维修等.
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